วัดพระธาตุหริภุญชัย วรมหาวิหาร เดิมทีเป็นพระราชวังของพระเจ้าอทิตยราชกษัตริย์ผู้ครองนครหริภุญชัย องค์ที่ ๓๓ ต่อจาก พระนางจามเทวี ปฐมบรมกษัตริย์ของเมืองหริภุญชัย บริเวณกำแพงพระราชวังของพระเจ้าอาทิตยราชได้แบ่งออกเป็น ๒ ชั้น คือ ชั้นนอกและชั้นใน ในกาลต่อมาภายหลังพระเจ้าอาทิตยราช ได้ถวายราชวังของพระองค์ให้เป็นสังฆารามไว้กับทางพระพุทธศาสนาเมื่อถวายเป็นสังฆารามแล้ว ได้รื้อกำแพงชั้นนอกออกแล้วปั้นสิงห์คู่หนึ่งไว้ที่ซุ้มประตูด้านทิศตะวันออก เป็นสิงห์ขนาดใหญ่ประดับเครื่องทรงยืนอ้าปากประดิษฐานไว้แทน ตามคติโบราณทางเหนือซึ่งนิยมสร้างสิงห์เฝ้าวัด วัดพระธาตุหริภุญชัย จึงมีกำแพงสองชั้นตามรูปลักษณ์ของพระราชวังเดิมของพระเจ้าอาทิตยราช คือ รอบบริเวณวัดชั้นนอกชั้นหนึ่ง และก่อกำแพงเป็นศาลาบาตรรอบองค์พระธาตุหริภุญชัยเป็นกำแพงชั้นในอีกชั้นหนึ่ง

          วัดพระธาตุหริภุญชัย วรมหาวิหาร ตั้งอยู่ใจกลางเมืองลำพูนมีถนนล้อมรอบสี่ด้าน สร้างขึ้นเมื่อ พ.ศ. 1651 มีสิ่งที่น่าสนใจคือ ซุ้มประตูซึ่งก่อนที่จะเข้าไปในบริเวณวัด ต้องผ่านซุ้มประตูก่ออิฐถือปูนประดับลวดลายวิจิตรพิสดาร เป็นฝีมือโบราณสมัยศรีวิชัย ประกอบด้วยซุ้มยอดเป็น ชั้น ๆ เบื้องหน้าซุ้มประตูมีสิงห์ใหญ่คู่หนึ่งยืนเป็นสง่าบนแท่นสูงประมาณ 1 เมตร สิงห์คู่นี้ปั้นขึ้นใน สมัยพระเจ้าอาทิตยราชเมื่อทรงถวายวังให้เป็นสังฆารามวิหารหลวง เมื่อผ่านซุ้มประตูเข้าไปแล้วจะเห็นวิหารหลังใหญ่ เรียกว่า วิหารหลวง เป็นวิหารหลัง ใหญ่มีพระระเบียงรอบด้านและมีมุขออกทั้งด้านหน้าและด้านหลัง เป็นวิหารที่สร้างขึ้นใหม่แทนวิหารหลังเก่า ซึ่งถูกพายุพัดพังทลายไปเมื่อ พ.ศ. 2466

วัดพระพุทธบาทห้วยต้มประกาศตั้งวัดเมื่อ พ.ศ. 2533 ได้รับพระราชทานวิสุงคามสีมาเมื่อวันที่ 1 พฤศจิกายน พ.ศ. 2534 ความเป็นมาของวัดพระพุทธบาทห้วยต้มซึ่งเรียบเรียงโดย นันทวัน กล่าวถึงเมื่อครั้งพุทธกาล สมเด็จพระสัมมาสัมพุทธเจ้าได้เสด็จไปโปรดเวไนยสัตว์ในที่ต่าง ๆ พระพุทธองค์เสด็จมาถึงดงไม้ตาลแล้วขึ้นประทับบนจอมดอยแห่งหนึ่ง เรียกว่า ดอยนางพี่ ได้ประทานพระเกศาธาตุ 1 เส้นให้พวกละว้าที่มาเฝ้าอยู่ ณ ที่นั้นบรรจุไว้ในพระเจดีย์ ต่อมาเรียกว่า ดอยนางนอนจอมแจ้ง (เพราะเสด็จมาถึงที่นั่นตอนรุ่งเช้า) ต่อมามีพญาเมืองเถิน พ่อฤาษีและหมอพรานอีก 8 คนหาบเนื้อสดเดินมาพบเข้า ขณะที่ไม่มีอะไรมาถวาย พระพุทธองค์ก็ยังไม่ได้ฉัน พวกพรานจึงเอาเนื้อไปกองรวมกันไว้ พวกละว้าที่อยู่ในบริเวณนั้นจึงไปต้มข้าวมาถวาย สมเด็จพระจอมไตรจึงทรงรับมาฉันและให้ศีลให้พรพวกละว้า พระพุทธองค์จึงทรงประทับรอยพระบาทไว้และทรงรับสั่งว่า "ถ้าผู้ใดปฏิบัติได้ตามที่พระพุทธองค์ทรงสั่งสอนก็เหมือนอยู่ใกล้ ถ้าไม่ปฏิบัติก็เหมือนอยู่ไกล" และได้พระราชทานนามว่า ห้วยต้มข้าว ต่อมาเรียกเพี้ยนเป็น ห้วยต้ม จึงเป็นที่มาของชื่อวัดพระพุทธบาทห้วยต้มในปัจจุบัน

วัดมีพระธาตุเจดีย์ศิลปะล้านนาผสมพม่า เป็นทรงแหลมเรียวรายล้อมด้วยเจดีย์ขนาดเล็กอีก 16 องค์ ภายในศาลารอบองค์พระธาตุเจดีย์จะมีรูปปั้นของเกจิอาจารย์ชื่อดังของประเทศกว่า 30 องค์ และภายในศาลาหลังใหญ่ยังเป็นที่ตั้งศพของครูบาชัยยะวงศาพัฒนาบรรจุในโลงแก้ว บริเวณด้านเหนือของวัดเป็นที่ประดิษฐานพระพุทธรูปพระเจ้าเก้าตื้อจำลองซึ่งประดิษฐานอยู่ในมณฑป ได้จัดให้มีพระราชพิธีบรรจุพระบรมสารีริกธาตุไปเมื่อวันที่ 11 ธันวาคม พ.ศ. 2544 ภายในวัดยังมีสิ่งก่อสร้างทำจากศิลาแลง ขุดได้จากบ่อศิลาแลงด้านหลังของวัด

          ประมาณ พ.ศ. ๑๒๐๐ พระนางจามเทวี พระราชธิดาในพระเจ้ากรุงละโว้ (ลพบุรี) ได้เสด็จมาครองนครหริภุญชัย (ลำพูน) พระนางได้ทรงเป็นองค์อุปถัมภ์ให้สร้างมณฑปครอบรอยพระพุทธบาทเป็นพุทธบูชา พ.ศ. ๒๔๗๒ ท่านครูบาศรีวิชัย นักบุญแห่งล้านนาไทย วัดบ้านปาง อ.ลี้ จ.ลำพูน ได้รับอาราธนาจากคณะสงฆ์จังหวัดลำพูน ซึ่งมีพระครูพุทธิวงศ์ธาดา วัดฉางข้าวน้อยเหนือ เจ้าคณะอำเภอปากบ่อง (ป่าซาง) เป็นประธานฝ่ายสงฆ์ และมีหลวงวิโรจน์รัฐกิจ (เปรื่อง โรจนกุล) เป็นประธานฝ่ายฆราวาส ได้ทำการก่อสร้างวิหารจัตุรมุขจนสำเร็จ

พ.ศ. ๒๓๗๕ ครูบาอาจารย์หลายท่าน โดยมีครูบาป๋า ปารมี วัดสะปุ๋งหลวง เป็นประธาน พร้อมด้วยทายก  ทายิกา ได้ก่อสร้างวิหารหลังใหญ่ค่อมมณฑปไว้อีกชั้นหนึ่ง

พ.ศ. ๒๔๘๖ คณะสงฆ์ โดยมีพระญาณมงคล เจ้าคณะจังหวัดลำพูน วัดพระยืน เป็นประธาน พร้อมด้วยข้าราชการ ประชาชน ได้อาราธนาท่านครูบาพรหมา พฺรหฺมจกฺโก วัดป่าหนองเจดีย์ ต.ท่าตุ้ม อ.ป่าซาง มาเป็นประธานอำนวยการก่อสร้าง และดูแลกิจการของวัด โดยมีพระอธิการศรีนวล อินฺทนนฺโท วัดช้างค้ำ เป็นผู้รักษาการแทนเจ้าอาวาส

พ.ศ. ๒๕๐๒ ท่านครูบาพรหมา ได้เริ่มการพัฒนาวัดอย่างเต็มที่ โดยการลงมือทั้งก่อสร้างและซ่อมแซมถาวรวัตถุที่ทรุดโทรม เช่น พระวิหารจตุรมุข ได้ต่อเติมยอดมณฑปขึ้นอย่างที่เห็นในปัจจุบัน ก่อสร้างพระอุโบสถทั้งหลังเก่าและหลังใหม่ ศาลาการเปรียญทั้งหลังเล็กและหลังใหญ่ กุฏิแถว โรงเรียนพระปริยัติธรรม กำแพงวัดและอื่น ๆ เป็นที่ปรากฏอย่างที่เห็นใจปัจจุบัน ประวัติวัดพระพุทธบาทตากผ้า เดิมเป็นวัดราษฎร์ ได้รับพระราชทานวิสุงคามสีมาเมื่อวันที่ ๒๕ ตุลาคม พ.ศ. ๒๕๑๖ และได้รับการยกฐานะเป็นพระอารามหลวงชั้นตรี ชนิดสามัญ เมื่อวันที่ ๓๑ พฤษภาคม พ.ศ. ๒๕๒๑ ตั้งอยู่ในเนื้อที่ประมาณ ๑๗๕ ไร่ ซึ่งเป็นเนินเขาเตี้ยๆ อยู่ใกล้ดอย (เขา) ๒ ลูกคือ ดอยช้างและดอยเครือ อยู่ห่างจากเมืองลำพูนประมาณ ๑๙ กิโลเมตร เป็นปูชนียสถานที่สำคัญแห่งหนึ่งของจังหวัดลำพูน หรือของภาคเหนือ

          ปัจจุบัน วัดพระพุทธบาทตากผ้า เป็นศูนย์กลางที่สำคัญของการศึกษาพระปริยัติธรรม ทั้งแผนกนักธรรม และบาลี ของพระภิกษุสามเณรในภาคเหนือ นอกจากนี้แล้ว ทางวัดได้จัดให้มีการปฏิบัติธรรมควบคู่ไปกับการศึกษา ได้จัดตั้งสำนักวิปัสสนากรรมฐานขึ้น เพื่อเป็นที่ปฏิบัติธรรมสำหรับพระภิกษุสามเณร อุบาสก อุบาสิกา และผู้สนใจทั่วไป